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激光切割機(jī)在半導(dǎo)體晶圓中的應(yīng)用

2021-07-27 返回列表

近年來，隨著光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，高集成半導(dǎo)體晶圓需求不斷增長、硅、碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃等材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓中。隨著晶圓集成度大幅提高，晶圓趨向輕薄化，傳統(tǒng)的加工方式不再適用，激光切割逐漸引入半導(dǎo)體晶圓切割中。
半導(dǎo)體器件分類：

激光切割機(jī)在半導(dǎo)體晶圓中的應(yīng)用-半導(dǎo)體器件分類

激光屬于無接觸式加工，不對(duì)晶圓產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力的作用，對(duì)晶圓損傷較小。由于激光在聚焦的優(yōu)點(diǎn)，聚焦點(diǎn)可小到亞微米數(shù)量級(jí)，從而對(duì)晶圓的微處理更具優(yōu)越性，可以進(jìn)行小部件的加工；即使在不高的脈沖能量水平下，也能得到較高的能量密度，有效地進(jìn)行材料加工。大多數(shù)材料吸收激光直接將材料汽化，打出連續(xù)的盲孔，形成溝道。從而實(shí)現(xiàn)切割的目的，因?yàn)楣獍遢^小，最低限度的碳化影響。
切割流程：

半導(dǎo)體晶圓的激光隱形切割技術(shù)是一種全新的激光切割工藝，具有切割速度快、切割不產(chǎn)生粉塵、無耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優(yōu)勢(shì)。隱形切割主要原理是將短脈沖激光光束透過材料表面聚焦在材料中間，在材料中間形成改質(zhì)層，然后通過外部施加壓力使芯片分開。
半導(dǎo)體樣品：

晶圓切割是先進(jìn)技術(shù)的代表，標(biāo)志著一個(gè)國家的先進(jìn)水平，想要不出現(xiàn)被卡脖子的狀況，唯有發(fā)展自己的技術(shù)，才能跳出這個(gè)泥潭。

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