隨著激光技術的發(fā)展,使用紫外激光切割PI覆蓋膜逐漸取代傳統(tǒng)的模切。紫外激光切割屬于無接觸加工,無需價格昂貴的模具,生產(chǎn)成本大大降低,聚焦后的光斑可僅有十幾微米,能夠滿足高精度切割和鉆孔的加工需求,這一優(yōu)勢正迎合電路設計精密化的發(fā)展趨勢,是PI膜切割的理想工具。
激光隱形切割作為激光切割晶圓的一種方案,很好的避免了砂輪劃片存在的問題。
紫外激光切割機目前已廣泛應用于半導體集成電路,包括單雙臺面玻璃鈍化二極管晶圓切割劃片,單雙臺面可控硅晶圓切割劃片,砷化鎵,氮化鎵,IC晶圓切割劃片。
采用激光精密切割技術替代線切割,由于其非接觸加工,無應力,因此切邊平直蒸汽,無損壞,不會損傷晶片結(jié)構(gòu),電性參數(shù)要優(yōu)于機械切割方式,這樣提高了成品率,降低了成本。同時,切縫寬度小,精度高,激光功率可調(diào)等特點,也使得應用激光精密切割技術可以控制切割厚度,從而可能實現(xiàn)太陽能電池的減薄。
鋰離子電池的生產(chǎn)制造是由一個個工藝步驟嚴密聯(lián)絡起來的。大體來說,鋰電池的生產(chǎn)包括極片制造、電芯制作以及電池組裝三部分。在這三個大的工序中,激光切割是其中的關鍵工藝。鋰電池作為新能源汽車的核心零部件,直接決定整車性能。隨著新能源汽車市場的逐步爆發(fā),激光切割機未來將有很大的市場潛力。
LED芯片研制不斷向高效高亮度方向發(fā)展。傳統(tǒng)的芯片切割方式如金剛刀劃片,砂輪刀鋸切因其效率低,成品率不高已逐漸落伍,不能滿足現(xiàn)代化生產(chǎn)的需要,目前激光切割方式正逐漸取代傳統(tǒng)切割,成為目前主流切割方式。
相比線切技術,激光切割采用無接觸式加工,無應力,因此切邊平直蒸汽,無損耗,不會損傷晶片結(jié)構(gòu),既提高了成品率,降低了成本,切縫寬度小,精度高,激光功率可調(diào),可以控制切割厚度,從而實現(xiàn)太陽能電池的減薄。激光切割技術可應用于大面積電池片進行劃線切割,精確控制切割精度及厚度,進一步減少切割碎屑,提高電池利用...
新型劃片-激光,激光屬于無接觸式加工,不對晶圓產(chǎn)生機械應力的作用,對晶圓損傷較小。 由于激光在聚焦上的優(yōu)點, 聚焦點可小到亞微米數(shù)量級, 從而對晶圓的微處理更具優(yōu)越性, 可以進行小部件的加工; 即使在不高的脈沖能量水平下, 也能得到較高的能量密度, 有效地進行材料加工。
由于紫外激光切割技術在半導體芯片切割中的優(yōu)勢,國外已經(jīng)廣泛采用這項工藝技術,特別是在一些高端的芯片 (如薄芯片、GaAs 晶圓)和量產(chǎn)的芯片(如藍光 LED 制造)方面。目前來看紫外激光技術還有很大的待開發(fā)潛能,它將在單位晶圓裸片數(shù)量和縮短投資回收期方面有進一步的發(fā)展,它將為半導體芯片切割開拓出一片嶄新的前景...
太陽能芯片激光劃片機應用于LED紅黃光硅晶圓切割,也用于陶瓷、金屬等特殊材料的切割。技術原理:將激光聚焦于脆性材料表面,利用激光的高峰值能量,瞬間將工作物表面氣化的切割方法。設備特點:多激光點切割技術,提供特殊材料(硅襯底)的高品質(zhì)加工,可兼容2英寸,4英寸,6英寸的晶圓切割,全自動上下料功能,無人值守式...
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